低溫液氮探針臺
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低溫液氦探針臺特征
1.真空腔體：真空度優于6×10-3Pa。降溫后優于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；
2. 探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；
3. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0.58X~7X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約280倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；
4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€定性優于±0.5K；
5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；
6. 系統直流漏電低于1pA。
7. 產品含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀。
低溫液氮探針臺產品參數
| 型號 | LTZ-4H-06 |
| 外形 | 650*650*1260 |
| 系統功率 | 1KW |
| 電壓 | 220V交流 |
| X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
| 探針調節精度 | ±0.01mm |
| 腔體真空度 | 1.0*10^-4pa |
| 重量 | 150kg |
| 測試直徑 | 6/8/12寸 |
| 探針軸行程 | 110mm |
| 探針XY行程 | 50mm |
| 制冷方式 | 液氮制冷 |
| X-Y軸額定速度 | 手動調節 |
| 腔體直徑 | 245mm |
| 探針臂數量 | 4（可選6個） |
| 溫度下限 | 77K |
| 探針臂 | 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜 |
| 顯微鏡倍率 | 0.58X~7X（使用1X附加物鏡時） |
| 地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
| 探針頻率 | 26GHz—100GHz（可選） |
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