室溫自動探針臺
室溫自動探針臺是卓聚科技專為較低預算客戶研發的高可靠性探針臺系統，主要應用在半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現X、Y、Z、R等方向自動調整，各移動軸可實現±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現快速準確的測量。經濟實用，穩定性強，可升級擴展，操作方便是本產品的核心價值，在各大高校、研究所及半導體行業應用廣泛。
室溫自動探針臺產品特征
1.標配4個探針臂，可提供4-8個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；
2. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦
3. 樣品座采用電機驅動，可實現快速于目鏡下尋找樣品，調節范圍：80mm*80mm*10mm。
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室溫自動探針臺產品參數
| 型號 | TZ-H-06 |
| 外形 | 444*607*646 |
| 重量 | 40kg |
| X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
| Z軸行程定位精度 | ±0.01mm |
| R軸行程定位精度 | ±0.05? |
| 測試直徑 | 6/8/12寸 |
| X-Y軸行程 | 110mm |
| Z軸行程 | 15mm |
| R軸行程 | 360? |
| X-Y軸額定速度 | 100mm/s |
| Z軸額定速度 | 10mm/s |
| R額定速度 | 20?/s |
| 探針臂調節行程 | X-50mm，Y-50mm，Z-30mm |
| 探針臂調節精度 | 10um |
| 探針臂 | 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜 |
| 顯微鏡倍率 | 4X~9X（使用1X附加物鏡時） |
| 地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
| 探針頻率 | 26GHz—100GHz（可選） |
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